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電(diàn)子(zǐ)氣

簡要(yào)描述：電(diàn)子(zǐ)氣：按組分(fēn)的(de)性質分(fēn)類，大(dà)緻分(fēn)為(wèi)三類，即單質類₹氣體(tǐ)（O2、N2、Ar、H2、He）、化(huà)合物(wù)類氣體(tǐ)（SiH4矽烷、PH3磷烷、AsH3砷化(huà)氫、CO一(yī)氧化(huà&)碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化(huà)氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟矽烷等）、混合物(wù)類氣體(tǐ)（SiH4+稀釋×氣（Ar、N2）、PH3+稀釋氣（Ar、N2）、NH3+稀釋氣（Ar...

更新時(shí)間(jiān)：2023-02-22 11:27:51
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幹冰/固體(tǐ)二氧化(huà)碳

液态氣體(tǐ)

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電(diàn)子(zǐ)氣：
按組分(fēn)的(de)性質分(fēn)類，大(dà)緻分(fēn)為(wèi)三類∏，即單質類氣體(tǐ)（O₂、N₂、Ar、H₂、He）、化(huà)合物(wù)類氣體(tǐ)（SiH₄矽烷、PH₃磷烷、AsH₃砷化(huà)氫、CO一(yī)氧化(huà)碳、B₂H₆乙硼烷、Hcl氯化(huà)氫、NH₃氨、CF₄四氟甲烷、SiF₄四氟矽烷等）、混合物(wù)類氣體(tǐ)（SiH₄+稀釋氣（Ar、N₂）、PH₃+稀釋氣（Ar、N₂）、NH₃+稀釋氣（Ar、N₂）等）。